掃描電子顯微鏡,掃描電鏡,SEM掃描電鏡
簡單說明:(Description)
(1)最大放大倍率6萬倍(Magnification Max 60,000x)
(2)采用二次電子和背散射電子雙重探測器(Signal Detection: SE Detector+BSE Detector)
(3)1kV~30kV加速電壓選擇,圖像分辨率高(Accelerating Voltage:1kV to 30kV,High image resolution)
(4)通過選配EDS可進行元素成份分析(EDS is optional, for component analysis)
(5)高真空配置(High Vacuum System)
(6)Tilt(0~45)載物臺配置(可選擇)(Tilt Stage configuration( optional))
三、 技術參數:(Product specifications)
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分辨率(Resolution)
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15nm (30kV, SE Image) |
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20nm (30kV, BSE Image) |
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放大倍率(Magnification) |
30x~60,000x |
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加速電壓(Accelerating Voltage) |
1kV to 30kV (1kV/5kV/10kV/15kV/20kV/30kV-6 step) |
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圖像檢測 (Signal Detection)`
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二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image |
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背散射電子圖像 (BSEI)-Backscattered Electron Image |
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* Multi Detector (SEI+BSEI) |
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觀察模式 Observation mode |
Standard Mode |
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Charge-up reduction mode |
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電子槍系統(Electron Gun) |
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燈絲類型(Filament type) |
預對中鎢燈絲(Pre Centered tungsten filament Cartridge) |
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偏壓系統(Bias voltage system) |
自動偏壓方式(Automatic mode) |
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電子槍校正 (Electron gun alignment) |
手動方式(Manual mode) |
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透鏡構成(Lens system) |
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聚光鏡(Focus Lens) |
2段式磁線圈透鏡 (2-stage Electromagnetic Condenser Lens) |
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物鏡(Objective Lens) |
1段式磁線圈透鏡(1-stage Electromagnetic Objective Lens) |
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探測器類型(Detector type) |
SE Detector/ BSE Detector |
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載物臺系統( Stage System) |
Auto or Mauanl |
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載物臺移動(Stage Traverse) |
3軸操控3 axis System, X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360° |
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Image shift |
Image shift X, Y Image Shift (±150um) |
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樣品最大尺寸 (Max Sample size) |
高度30mm時最大直徑70mm,70mm in diameter, 30mm in height |
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圖像掃描 (Image Scanning system) |
快速描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) |
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低速描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.) |
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圖片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 |
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圖片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 圖片模式3(Photo Mode 3): 5120x3840 |
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自動功能 (Automatic Function) |
自動啟動(Auto start),自動聚焦(Auto focus),自動亮度對比度調節(Auto Brightness/Contrast) |
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圖像存儲格式(Image format) |
BMP, JPEG, PNG,TIFF |
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數據顯示(Data display) |
放大倍率(Magnification),探測器類型(Detector type),電壓(Accelerating Voltage),真空模式(Vacuum mode),Logo(Text), Date and time,Text marker,比例尺(scale bar) 等 |
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真空系統(Vacuum system) |
全自動型/高真空模式 (Fully Automatic Multi mode) (旋轉式機械泵)Rotary Pump/100Liters/min (渦輪式分子泵) Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec 抽真空時間(pump down time):2分鐘以內 (less than 2 minutes) |
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操控系統(Control unit system) |
鼠標和鍵盤(Mouse ,Keyboard) |
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PC:臺式電腦(Desk Top) |
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軟件(Software function) |
圖像文件打開,編輯,存儲功能(Image file open, edit, Save function)
長度,面積,角度等測量功能(Length, area, angle measuring) |
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體積( Volume) |
設備主機(Main Unit)-410(W)×660(D)× 600(H)mm……1set 根據客戶實際情況使用Anti vabration Table |
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重量 (Weight) |
99kg |
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設備環境 (Equipment environment) |
溫度(Temperature):15℃~30℃ 電源(Power source): Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz |
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四、樣品檢測結果 我們使用實驗室廢棄的一顆不良品螺絲作為樣品進行了實際測試,圖片如下:
螺絲,放大47倍, 30 kV,SE探測器,高真空模式
螺帽部分,放大100倍,10 kV,SE探測器,高真空模式
螺牙部分,放大100倍,10 kV,SE探測器,高真空模式
螺紋牙底部分,放大500倍,10 kV,SE探測器,高真空模式
螺紋牙頂部分,放大500倍,10 kV,SE探測器,高真空模式
螺紋牙頂部分放大,1000倍,10 kV,SE探測器,高真空模式
其它測試圖片:
陶瓷表面,放大5千倍,30 kV,SE探測器
電池正極材料,1萬倍, 5 kV,SE探測器
浮游植物,放大8千倍,5 kV,SE探測器
珍珠粉,放大1千倍,5 kV,SE探測器
五、附件包(Accessories package): |
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預對中鎢燈絲 Pre Centered tungsten filament |
5 pcs/box |
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載物臺(Sample Stage)
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15mm dia. (10 pcs) |
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25mm dia. (10 pcs) |
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15mm 45° Tilt (5 pcs) |
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15mm 90° Tilt (5pcs) |
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高度基準模塊(Height standard master) |
1ea |
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6角扳手(allen wrench) |
1set |
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掃描電鏡軟件修復用CD (SEM Software CD) |
1ea |
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碳導電膠帶(Carbon conductive tape) |
1roll |
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剪刀(scissors) |
1ea |
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洗耳球(aurilave) |
1ea |
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鑷子(tweezers) |
1ea |
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工具箱(Tools Box) |
1ea |
聯系人:繆延武
手 機:18930080803
郵 箱:sam@sciapsxrf.com
公 司:SciAps LIBS and XRF Z-903鋰礦分析儀--賽譜司中國 賽測科技
地 址:上海市普陀區西康路1379號412室